MFI 在線式-MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MFI系(xi)列(lie) 在線(xian)式(in-line)氣(qi)體流量計，插入式安(an)裝(zhuang)，專(zhuan)為大管線(xian)(≥150mm)的氣(qi)體監測控制而設計，
配有自(zi)密(mi)式閥門，可(ke)以(yi)在最輕微干擾(rao)的(de)情況下解決氣體測量的(de)有效(xiao)方案。可(ke)應用于生產過程中(zhong)的(de)氣體測控
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等
工業制造業的用氣測量及程控、
環保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠
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