MF5000 MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MF5000 專(zhuan)為工業(ye)環境設計(ji),在單(dan)個芯(xin)片上(shang)實現了多傳感器集成(cheng),使該(gai)流量計(ji)量程比大(da)大(da)提升,
管(guan)徑范(fan)圍(wei)3.0mm~19.0mm,具有多種信(xin)號輸(shu)出及通訊接口 本產品在(zai)性能、
安裝(zhuang)可廣泛應(ying)用于(yu)
石油、燃(ran)氣、化工(gong)、冶煉、能源等(deng)各(ge)個(ge)領域
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等
工業制造業的用氣測量及程控、
醫療(liao)設(she)備(bei) (如:醫療(liao)麻醉與呼吸設(she)備(bei)、醫院供氧(yang)/制氧(yang)設(she)備(bei)、分床計費系統)
環保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業技術;而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術,
相較于傳統的熱式質量流量計,MEMS質量流量計,體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠
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